带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正
发布时间：2025-10-28 11:21:38 人气：17
带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202310175175.5
申请日：
2023-02-27
授权公告号：
CN116666180B
授权公告日：
2025-10-28
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/26
分类号：
H01J37/26;H01J37/147
国省代码：
US0OR000
页数：
28
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张凌苗;吕传奇
优先权：
2022-02-28 US 17/683076
主权项：
1.一种方法,包括：在带电粒子束显微镜系统以透射成像模式操作的情况下,将带电粒子束引导到样本,包括将束倾斜的时间序列以图案应用到带电粒子束以产生图像序列,其中在带电粒子束在束倾斜的时间序列中的一个束倾斜与束倾斜的时间序列中的顺序相邻的束倾斜之间转变时捕捉图像序列中的至少一些图像,并且其中图案被配置成在图像序列中的图像之间引起图像改变,所述图像改变指示带电粒子束显微镜系统中的光学像差；捕捉图像序列；以及从图像序列生成带电粒子束显微镜系统的一个或多个光学像差值的集合；其中图像改变包括引起的图像变化,并且其中从图像序列生成带电粒子束显微镜系统的一个或多个光学像差值的集合包括测量图像序列中的连续图像之间的引起的图像变化并且将引起的图像变化拟合到光学像差模型,所述光学像差模型描述引起的图像变化、束倾斜和一个或多个光学像差的集合之间的关系；以及其中,光学像差模型合并图案和图像序列之间的未知时间延迟。
摘要：
带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正。带电粒子束显微镜系统以透射成像模式操作。在操作期间,带电粒子束微系统将带电粒子束引导至样本以产生图像。将束倾斜的时间序列以图案应用于被引导到样本的带电粒子束以产生图像的序列。在带电粒子束在束倾斜的时间序列中的一个束倾斜与束倾斜的时间序列中的顺序相邻的束倾斜之间转变时,捕捉图像序列中的至少一些图像。该图案被配置成引起图像序列中的图像之间的图像改变,其指示带电粒子束显微镜系统中的光学像差。
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