用于动态带对比度成像的方法和系统
发布时间：2025-10-17 11:26:01 人气：23
用于动态带对比度成像的方法和系统
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202110592325.3
申请日：
2021-05-28
授权公告号：
CN113745080B
授权公告日：
2025-10-17
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/08
分类号：
H01J37/08;H01J37/147;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28;G01N23/203
国省代码：
US0OR000
页数：
18
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
邹松青;王丽辉
优先权：
2020-05-29 US 16/888216
主权项：
1.一种用于对样品进行成像的方法,其包括：利用带电粒子束扫描所述样品的多个扫描位置；获取从所述样品发射的带电粒子；利用获取的带电粒子形成多个散射图案,其中在所述多个扫描位置中的每个扫描位置处形成一个散射图案；基于所述多个散射图案形成积分散射图案；基于所述积分散射图案中的菊池线确定衍射带在所述多个散射图案中的位置；以及基于所述衍射带的所述位置,从所述多个散射图案来构造动态带对比度图像DBCI。
摘要：
动态带对比度图像(DBCI)利用使用带电粒子束在样品的多个扫描位置处获取的散射图案来构造。通过沿着衍射带对对应散射图案进行积分来产生所述DBCI的每个像素。所述DBCI包含带电粒子通道条件,且可用于检测样品缺陷。
查看法律状态
相似专利
[1] 用于动态带对比度成像的方法和系统. T·维斯塔维尔;P·斯泰斯卡尔.中国专利:CN113745080A,2021-12-03
本领域科技成果与标准
科技成果
相关标准
科技成果共1条
[1] 数模一体智能集成监控主机设备研制. 李旸;胡友松;范卫国;张远东;朱磊;王铁;马韧;李兵;朱家海;丁仁源;马玉宝;陶德美.国家科技成果.
研究与应用
本专利研制背景
本专利应用动态
所涉核心技术研究动态
期刊共34条
[1] 图像式光电编码器数据采集系统. 周钧;张世学;凌剑勇;吴庆林.物理实验,2018(08)
[2] FPGA平台的VGA图像显示的设计与实现. 高春燕.电子产品世界,2013(04)
[3] LaAlO_3/SrTiO_3异质结光存储特性模拟及电阻图像显示. 杨毅;段伟杰;洪彦鹏;肖文志.湖南工程学院学报(自然科学版),2023(02)
[4] 通用图像显示控制技术研究. 余理富,胡亚华,卢力.国防科技大学学报,2000(02)
[5] 基于FPGA的VGA图像显示设计. 桂淮濛.电脑编程技巧与维护,2019(08)
[6] 基于FPGA的VGA图像显示及控制系统的设计与实现. 李营;吕兆承;陈帅;权循忠.淮南师范学院学报,2019(02)
[7] 焦平面热成像图像显示电路设计. 蔡胜兵;段哲民;高进.激光与红外,2007(08)
[8] 40英寸高分辨率扁平CRT的研究. 夏蓓恩.真空电子技术,1992(06)
[9] 用于高端3D显示的灰度表示方法. .光电工程,2017(07)
[10] 基于SNM理论的技术范式变迁实证研究——以数码化图像显示技术为例. 叶芬斌.科学学研究,2013(06)
硕博共4条
[1] 基于FPGA的图像显示技术研究. 关珊珊.南京航空航天大学,2012
[2] Dither在ADC中的研究与应用. 张占鹏.电子科技大学,2010
[3] 基于DSP的彩色TFT-LCD数字图像显示技术研究. 郭晓东.华中科技大学,2004
[4] 数字矢量信号在线测量仪的数据图像显示设计. 刘自瑜.南京信息工程大学,2025
会议共2条
[1] 多核并行图像显示接口设计. 杜高明;张多利;高明伦;耿罗锋;候宁.2008’“先进集成技术”院士论坛暨第二届仪表、自动化与先进集成技术大会,2008
[2] 基于SNM理论的技术范式变迁实证研究——以数码化图像显示技术为例. 叶芬斌;许为民.2012年全国科学学理论与学科建设暨科学技术学两委联合年会,2012
