使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法
发布时间：2025-10-17 11:26:37 人气：17
使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202011109443.6
申请日：
2020-10-16
授权公告号：
CN112683929B
授权公告日：
2025-10-17
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
C·鲁; J·王; A·P·J·M·波特曼; J·克里斯蒂安; K·曼尼; G·基斯
专辑：
工程科技Ⅰ辑
专题：
材料科学
主分类号：
G01N23/00
分类号：
G01N23/00;G01N23/2202;G01N23/2251
国省代码：
US0OR000
页数：
18
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张凌苗;周学斌
优先权：
2019-10-18 US 62/923231
主权项：
1.一种方法,其包含：用聚焦离子束,以浅角度和以多个旋转取向铣削样品,以去除一层所述样品；并且在铣削之后,用带电粒子束对所述样品的暴露表面进行成像；其中以这样的方式设计局部基准点,即去除样品表面的特定厚度导致局部基准点的可测量外观的可预测的变化,并且其中以高分辨率对一个或多个感兴趣区域进行成像,而以较低分辨率对铣削区域内的周围区域进行成像。
摘要：
本文公开了使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法和设备。实例方法至少包括：用聚焦离子束,以浅角度和以多个旋转取向铣削样品,以去除一层所述样品并暴露表面,并且在铣削之后,用带电粒子束对所述样品的暴露表面进行成像。
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[1] 使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法. C·鲁;J·王;A·P·J·M·波特曼;J·克里斯蒂安;K·曼尼;G·基斯.中国专利:CN112683929A,2021-04-20
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