六阶及以上校正STEM多极校正器
发布时间：2025-09-16 12:48:04 人气：16
六阶及以上校正STEM多极校正器
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202011306965.5
申请日：
2020-11-20
授权公告号：
CN112837983B
授权公告日：
2025-09-16
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/10
分类号：
H01J37/10;H01J37/153;H01J37/26
国省代码：
US0OR000
页数：
41
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张凌苗;周学斌
优先权：
2019-11-22 US 16/692851
主权项：
1.一种用于校正带电粒子系统中的轴向像差的校正器,所述校正器包括：第一初级多极,当将第一激励施加到所述第一初级多极时,所述第一初级多极产生第一初级多极场；第二初级多极,当将第二激励施加到所述第二初级多极时,所述第二初级多极产生第二初级多极场,其中当在所述带电粒子系统中使用时,所述第二初级多极定位在所述第一初级多极与作为球面像差来源的透镜之间,其中所述第一初级多极未被成像到所述第二初级多极上,从而产生了组合四阶像差；以及次级多极,所述次级多极用于校正所述四阶像差和六阶像差,其中当在所述带电粒子系统中使用时,所述次级多极定位在所述第二初级多极与所述透镜之间。
摘要：
六阶及以上校正STEM多极校正器。根据本公开,用于校正带电粒子显微镜系统中的粒子光学透镜的轴向像差的校正器包含：第一初级多极,当将第一激励施加到所述第一初级多极时,所述第一初级多极产生第一初级多极场；以及第二初级多极,当将第二激励施加到所述第二初级多极时,所述第二初级多极产生第二初级多极场。所述第一初级多极并未被成像到所述第二初级多极上,从而产生了组合四阶像差。所述校正器进一步包含用于校正所述四阶像差和六阶像差的次级多极。此类校正器可以进一步包含用于校正八阶像差的三级多极。
查看法律状态
相似专利
[1] 六阶及以上校正STEM多极校正器. A·亨斯特拉;P·C·泰梅杰尔;M·尼斯塔特.中国专利:CN112837983A,2021-05-25
本领域科技成果与标准
科技成果
相关标准
科技成果共3条
[1] 半导体量子点中带电粒子的能谱. 国家科技成果.
[2] 微观少体系统结构. 解文方;陈传誉.国家科技成果.
[3] 半导体量子点中电子系统的性质. 国家科技成果.
研究与应用
本专利研制背景
本专利应用动态
所涉核心技术研究动态
期刊共42条
[1] 带电粒子在电磁场中的可视化分析. 毛生红;郑小平.兰州工业学院学报,2022(05)
[2] 带电粒子自身电磁场对粒子本身的反作用. 阿不都热苏力.喀什师范学院学报,2013(06)
[3] 带电粒子光学系统优化问题的研究. 雷威,尹涵春,屠彦.计算物理,1998(05)
[4] 带电粒子在磁场中运动的特征及应用. 刘波.湖南中学物理,2009(06)
[5] 辐射带电粒子在电磁场中的运动方程. 阿不都热苏力.喀什师范学院学报,2010(03)
[6] 缓变磁场中带电粒子的运动. 王忠纯,周延怀.南京师大学报(自然科学版),1997(02)
[7] 三圆结合巧解带电粒子的边界问题. 陈玉娣.中学物理,2010(23)
[8] 巧用运动合成分解化解带电粒子在电磁场中的运动问题. 步国平;李锦云.物理通报,2010(10)
[9] 一种演示带电粒子在电磁场中运动规律的实验装置. 陈晓莉;史文奎;刘霜.教学仪器与实验,2013(06)
[10] 纵向磁场对电弧带电粒子密度和电压噪声的影响. 李辛.沈阳工业大学学报,2006(03)
硕博共12条
[1] 基于神经网络求解带电粒子系统的正反问题. 李欣洁.北京交通大学,2024
[2] 离子壁垒膜对带电粒子的阻止和透过性能研究. 刘庆飞.长春理工大学,2004
[3] 电磁波在带电粒子流中的传输特性研究. 陆欢欢.电子科技大学,2021
[4] 超高速碰撞形成的带电粒子对半导体器件的电磁干扰特性研究. 余月月.北京理工大学,2015
[5] 复杂结构微通道内带电粒子富集仿真及实验研究. 邢磊磊.河北工业大学,2023
[6] 微通道板离子壁垒膜性能优化的模拟研究. 孙擘.长春理工大学,2014
[7] 等离子体应用技术的数值模拟研究. 丁可.复旦大学,2006
[8] 基于PIC/MCC方法的MEMS工艺中感应耦合等离子体仿真研究. 汤泽宇.东南大学,2020
[9] 电子回旋共振放电的PIC/MCC模拟. 金晓林.电子科技大学,2007
[10] 适用于中子探测的大厚度氮化硼材料的制备及其性能研究. 范子阳.吉林大学,2023
会议共1条
[1] 带电粒子在外电磁场中运动的离散描述. 刘健;肖建元;秦宏;于治.第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会,2013
报纸共1条
[1] Actel：立足FlashFPGA 走差异化道路. 赵艳秋.中国电子报,2009-08-25
