用于获取3D衍射数据的方法和系统

专利类型：

发明授权

申请(专利)号：

CN202110331190.5

申请日：

2021-03-29

授权公告号：

CN113466266B

授权公告日：

2025-09-05

申请人：

FEI 公司

地址：

美国俄勒冈州

发明人：

B·比伊斯; A·亨斯特; Y·邓

专辑：

工程科技Ⅰ辑

专题：

材料科学

主分类号：

G01N23/20008

分类号：

G01N23/20008;G01N23/20058;H01J37/295

国省代码：

US0OR000

页数：

20

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

张凌苗;周学斌

优先权：

2020-03-30 US 16/835218

主权项：

1.一种用带电粒子束对样品进行成像的方法,其包括：将从带电粒子源产生的带电粒子分裂成第一带电粒子束和第二带电粒子束；通过用所述第一带电粒子束照射所述样品的感兴趣区域来获取衍射图案；以及通过用第二带电粒子束照射所述感兴趣区域来获取样品图像；其中所述第一带电粒子束和所述第二带电粒子束以不同的入射角和不同的波束发散度照射所述感兴趣区域。

摘要：

用于获取3D衍射数据的方法和系统。通过使用第一带电粒子束照射感兴趣区域来获取样品在各种倾斜角度下的衍射图案。通过使用第二带电粒子束照射所述感兴趣区域来获取样品图像。通过分裂由带电粒子源产生的带电粒子而形成所述第一和第二带电粒子束。

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