时间选通检测,双层基于SPAD的电子检测
发布时间：2025-08-19 12:52:01 人气：20
时间选通检测,双层基于SPAD的电子检测
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202210747792.3
申请日：
2022-06-29
授权公告号：
CN115575420B
授权公告日：
2025-08-19
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
工程科技Ⅰ辑
专题：
材料科学
主分类号：
G01N23/04
分类号：
G01N23/04;G01N23/20008;G01N23/2251;G01J1/44;G01J11/00
国省代码：
US0OR000
页数：
22
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
钟茂建;吕传奇
优先权：
2021-06-30 US 17/364621
主权项：
1.一种带电粒子检测器,其包含：第一单光子检测器阵列；第二单光子检测器阵列,其相对于所述第一单光子检测器阵列沿带电粒子束轴对齐,其中带电粒子束轴指向样品并且被消隐；和符合检测器,其紧固到所述第一单光子检测器阵列和所述第二单光子检测器阵列中的一个并且可操作以指示与在预定时间窗口内检测到所述第一单光子检测器阵列和所述第二单光子检测器阵列的对应单光子检测器阵列元件中的带电粒子对应的检测事件；其中,所述第一单光子检测器阵列和所述第二单光子检测器阵列在直方图模式下操作,在所述直方图模式下,检测事件被添加到采集的直方图中。
摘要：
时间选通检测,双层基于SPAD的电子检测。使用SPAD元件测量响应于施加到样品的光泵脉冲的电子束调制。单独的检测事件用于形成与泵脉冲时序相关联的时间库中的事件数量的直方图。能够在SPAD阵列上产生所述直方图,简化数据传输。在一些实例中,两个SPAD阵列被堆叠并且符合电路通过确定在预时序间窗口内检测到对应事件来区分信号事件和噪声事件。
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[1] 时间选通检测,双层基于SPAD的电子检测. B·J·扬森;G·范维恩;E·基夫特.中国专利:CN115575420A,2023-01-06
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