使用带电粒子显微镜检查样品的方法
发布时间：2024-07-02 10:27:55 人气：1
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202010362647.4
申请日：
2020-04-30
授权公告号：
CN111982938B9
授权公告日：
2024-07-02
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
工程科技Ⅰ辑
专题：
材料科学
主分类号：
G01N23/046
分类号：
G01N23/046;G01N23/207;G01N23/203;G01N23/2251;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28
国省代码：
US0OR000
页数：
15
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张凌苗;申屠伟进
优先权：
2019-05-06 EP 19172810.4
主权项：
1.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法,包括：-提供带电粒子束以及样品；-用所述带电粒子束扫描所述样品的至少一部分；-使用第一检测器获得测量的检测器信号,其对应于来自多个采样位置处所述样品的第一类型的发射；-提供数据类元素集,其中每个数据类元素将期望的检测器信号与对应样品信息值相关联并且由机器学习算法确定；-处理所述测量的检测器信号,其中所述处理包括,对于多个采样位置中的每一个：○将所述测量的检测器信号与所述的数据类元素集进行比较；○确定所述测量的检测器信号属于所述的数据类元素集中的某一个的至少一个概率；以及○将至少一个样品信息值和所述至少一个概率分配给所述多个采样位置中的每一个；以及-以数据表示具有对应样品信息值和对应概率的所述多个采样位置。
摘要：
本发明涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法,包括提供带电粒子束和样品的步骤,以及用所述带电粒子束扫描所述样品的至少一部分的步骤。第一检测器用于获得测量的检测器信号,其对应于来自多个采样位置处所述样品的第一类型的发射。根据该方法,提供了数据类元素集,其中每个数据类元素将期望的检测器信号与对应样品信息值相关联。处理测量的检测器信号,并且处理包括：将所述测量的检测器信号与所述的数据类元素集进行比较；确定所述测量的检测器信号属于所述的数据类元素集中的某一个的至少一个概率；以及将至少一个样品信息值和所述至少一个概率分配给多个采样位置中的每一个。最后,可以以数据表示样品信息值和对应的概率。
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