具有可调整光束能散度的透射带电粒子显微镜
发布时间：2024-03-26 15:28:17 人气：9
具有可调整光束能散度的透射带电粒子显微镜
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN201811415777.9
申请日：
2018-11-26
授权公告号：
CN109841473B
授权公告日：
2024-03-26
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/28
分类号：
H01J37/28;H01J37/26
国省代码：
US0OR000
页数：
13
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
刘书航;申屠伟进
优先权：
2017-11-27 EP 17203708.7
主权项：
1.一种使用透射带电粒子显微镜的方法,所述透射带电粒子显微镜包括：样品架,其用于固持样品；用于产生带电粒子束的源；照明器,其用于沿着光轴引导所述束以便辐照所述样品,所述照明器包括：单色器,其具有位于单色器狭缝上游的一系列加速器阳极,且配置成产生具有给定能散度ΔE0的输出光束；以及聚光透镜组合件,其在所述单色器下游；成像系统,其用于接收透射穿过所述样品的带电粒子通量并将其引导到感测装置上；控制器,其用于控制所述显微镜的至少一些操作方面,特征在于以下步骤：在第一使用阶段中,通过调整以下中的至少一个：(a)所述聚光透镜组合件的第一透镜的激励；以及(b)聚光器孔中在所述第一透镜下游的宽度,来产生从所述聚光器孔出射的出射光束的第一宽度W1——以及相关联的第一能散度ΔE1；以及在第二使用阶段中,通过调整参数(a)和(b)中的至少一个来产生所述出射光束的不同的第二宽度W2——以及相关联的不同的第二能散度ΔE2。
摘要：
一种使用透射带电粒子显微镜的方法,所述透射带电粒子显微镜包括：-样品架,其用于固持样品；-用于产生带电粒子束的源；-照明器,其用于沿着光轴引导所述束以便辐照所述样品,所述照明器包括：·单色器,其配置成产生具有给定能散度ΔE0的输出光束；以及·聚光透镜组合件；-成像系统,其用于接收透射穿过所述样品的带电粒子通量并将其引导到感测装置上；-控制器,其用于控制所述显微镜的至少一些操作方面,所述方法包括以下步骤：-在第一使用阶段中,选择以下中的至少一个：(a)所述聚光透镜组合件的第一透镜的激励；(b)聚光器孔中在所述第一透镜下游的宽度,以便产生从所述孔出射的出射光束的第一宽度W1——以及相关联的第一能散度ΔE1；-在第二使用阶段中,选择所述参数(a)和(b)中的至少一个以便产生所述出射光束的不同的第二宽度W2——以及相关联的不同的第二能散度ΔE2。
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