体声波滤波器
发布时间：2023-10-27 13:00:40 人气：8
体声波滤波器
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN201880034665.0
申请日：
2018-06-11
授权公告号：
CN110785929B
授权公告日：
2023-10-27
申请人：
RFHIC 公司
地址：
韩国京畿道
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H03H9/02
分类号：
H03H9/02;H03H9/15
国省代码：
KR
页数：
14
代理机构：
北京市立方律师事务所
代理人：
谢玉斌;周永佳
优先权：
2017-06-19 US 15/627,371
国际申请：
2018-06-11 PCT/US2018/036799
国际公布：
2018-12-27 WO2018/236605 EN
进入国家日期：
2019-11-26
主权项：
1.一种体声波滤波器,所述体声波滤波器包括：金刚石基板；钝化层,所述钝化层形成在所述金刚石基板上；第一金属层,所述第一金属层形成在所述钝化层上；压电层,所述压电层形成在所述第一金属层上；第二金属层,所述第二金属层形成在所述压电层上；金属焊盘,所述金属焊盘形成在所述第一金属层上,其中所述金属焊盘、所述第一金属层、所述压电层和所述第二金属层形成电路径,所述电路径允许一个频率范围内的电信号通过；以及籽晶层,所述籽晶层被设置在所述金刚石基板与所述钝化层之间,所述籽晶层由金刚石粉末形成并被用于在其上生长所述金刚石基板。
摘要：
提供了一种用于使预设频率范围内的电信号通过的体声波(BAW)滤波器(130)。BAW滤波器(130)包括：金刚石基板(114)；钝化层(111),其形成在所述金刚石基板(114)上；第一金属层(110),其形成在所述钝化层(111)上；压电层(104'),其形成在所述第一金属层(110)上；第二金属层(116),其形成在压电层(104')上；金属焊盘(120),其形成在所述第一金属层(110)上。所述金属焊盘(120)、所述第一金属层(110)、所述压电层(104')和所述第二金属层(116)形成电路径,该电路径允许预设频率范围内的电信号通过。
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