用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法
发布时间：2026-04-07 21:10:41 人气：1
用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202110974069.4
申请日：
2021-08-24
授权公告号：
CN114113686B
授权公告日：
2026-01-30
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
I·拉吉克; S·维斯普奇; E·G·博世; B·H·弗雷塔
专辑：
工程科技Ⅱ辑
专题：
仪器仪表工业
主分类号：
G01Q30/02
分类号：
G01Q30/02
国省代码：
US0OR000
页数：
25
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
钟茂建;周学斌
优先权：
2020-08-25 US 17/002499
主权项：
1.一种用于用带电粒子对样本进行成像的方法,其包括：沿着主轴将所述带电粒子引导朝向所述样本；和分别用处于所述主轴中心的第一检测器和定位于所述第一检测器下游的第二检测器同时检测透射通过所述样本的所述带电粒子的第一部分和第二部分,其中透射带电粒子中的每一个以所述透射带电粒子的方向与所述主轴之间的出射角离开所述样本,且所述透射带电粒子的所述第一部分的所述出射角与所述透射带电粒子的所述第二部分的所述出射角重叠。
摘要：
用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法。用于用带电粒子对样本进行成像的方法和系统包括沿着主轴将带电粒子引导朝向所述样本,和分别用第一检测器和第二检测器同时检测透射通过所述样本的所述带电粒子的第一部分和第二部分。所述第二检测器定位于所述第一检测器的下游。所述透射带电粒子中的每一个以所述透射带电粒子的方向与所述主轴之间的出射角离开所述样本。所述透射带电粒子的所述第一部分的所述出射角与所述透射带电粒子的所述第二部分的所述出射角重叠。以这种方式,可同时获得互补信息,如结构和组成信息。
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